氟矽橡膠與甲基乙烯基矽橡膠相比，其耐油、耐溶劑、耐化學藥品性極其優良；即使與氟橡膠相比，耐油、耐溶劑性也是良好的。在相同介質、溫度、時間下浸漬後均顯示出了優良的耐久性，可以說氟矽橡膠是一種在-68℃～232℃下耐非極性介質的彈性體。
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